亚洲二区三区在线播放,国产人妖在线免费观看,色综合色综合蘑菇在线,伊人色综合九久久天天蜜桃,丁香久久激情久久激情,日本一区二区在线播放观看,视频女同久久久一区二区三区 ,男人的天堂av一二三区,久久精品国产亚洲av尤物,日韩精品一二区在线视频

技術(shù)文章

Technical articles

熱門搜索： AIR-2000D英國零級空氣發(fā)生器進(jìn)口實驗室純水機(jī) 氣相色譜專用氫氣發(fā)生器高純氫氣發(fā)生器 Nitrogen-B-5/10/30/60/100質(zhì)譜專用氮?dú)獍l(fā)生器德國進(jìn)口實驗室純水機(jī) Nitrogen-B-45/85/100英國氮?dú)獍l(fā)生器實驗室專用純水機(jī) 大流量氫氣發(fā)生器實驗室純水機(jī) Nitrogen-M-5/10/30/60/100高純液質(zhì)聯(lián)用氮?dú)獍l(fā)生器實驗室純化水設(shè)備 SSH系列質(zhì)譜泵隔音罩 Nitrogen-M-5/10/30/60/100液質(zhì)氮?dú)獍l(fā)生器 PECULIAR實驗室純水機(jī) 全自動空氣源

技術(shù)文章

當(dāng)前位置：首頁技術(shù)文章氫氣發(fā)生器在CVDMOCVD行業(yè)的運(yùn)用

氫氣發(fā)生器在CVDMOCVD行業(yè)的運(yùn)用

更新時間：2025-08-29

點擊次數(shù)：3871

　　氫氣在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用

　　半導(dǎo)體制造技術(shù)作為信息時代制造的基礎(chǔ)，堪比工業(yè)時代的機(jī)床，是整個社會發(fā)展的基石和原動力。在產(chǎn)業(yè)分工格局重塑的關(guān)鍵時期，我國也提出了《中國制造2025》，以通過智能制造實現(xiàn)由制造大國向制造強(qiáng)國的轉(zhuǎn)換。智能制造（工業(yè)4.0）的實現(xiàn)，以各種信息器件的使用為基礎(chǔ)，半導(dǎo)體制造技術(shù)正是其制造的核心技術(shù)。

　　而氫氣作為半導(dǎo)體制造中的氣源，在半導(dǎo)體材料及器件制備中起到至關(guān)重要的作用?？稍诠怆娖骷鞲衅?、IC制造中應(yīng)用。

　　目前半導(dǎo)體工藝中氫氣主要用于退火、外延生長、干法刻蝕等工藝。

　　退火是通過高溫加熱釋放材料內(nèi)部應(yīng)力從而改善材料質(zhì)量的一種材料處理辦法，氫氣作為保護(hù)氣可以起到防止氧化等作用，多用于薄膜生長后釋放應(yīng)力。

　　氫氣也可以應(yīng)用在化學(xué)氣相沉積（ChemicalVaporDepositon）薄膜生長?；瘜W(xué)氣相沉積是一種利用固態(tài)-氣態(tài)反應(yīng)、氣態(tài)-氣態(tài)反應(yīng)生成薄膜的設(shè)備，如在CVD工藝中作為還原性氣體制備二維材料MOS2、WS2等；等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）工藝中作為還原性氣體制備石墨烯、單晶硅、碳化硅等；電子回旋共振化學(xué)氣相沉積（ECR-CVD）中作為反應(yīng)氣體在單晶硅襯底上制備金剛石薄膜；金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積（MOCVD）設(shè)備中作為載氣制備光電材料GaN、AlGaN等。同時氫氣也可以在原子層沉積（AtomicLayerDeposition）中使用。

　　氫氣在等離子體刻蝕（RIE/ICP）中作為反應(yīng)氣體出現(xiàn)，等離子體刻蝕原理是利用反應(yīng)氣體離化后與材料發(fā)生反應(yīng)生成揮發(fā)性物質(zhì)，從而實現(xiàn)材料圖形化，是半導(dǎo)體器件制備的*工藝。

　　普拉勒氫氣發(fā)生器目前已大量應(yīng)用在以上工藝中，為半導(dǎo)體材料及器件制備提供好的氣源。

上一條空氣發(fā)生器有哪些常見故障，怎么解決的？
下一條蒸發(fā)光檢測器載氣為什么用氮?dú)猓?/a>

在線客服
電話咨詢
服務(wù)熱線：
13951716344
在線咨詢
微信咨詢

感谢您访问我们的网站，您可能还对以下资源感兴趣：

亚洲二区三区在线播放,国产人妖在线免费观看,色综合色综合蘑菇在线,伊人色综合九久久天天蜜桃,丁香久久激情久久激情,日本一区二区在线播放观看,视频女同久久久一区二区三区 ,男人的天堂av一二三区,久久精品国产亚洲av尤物,日韩精品一二区在线视频